德州新聞網訊

4月15日，2020年度山東“十大科技成果”和“十大科技新聞”揭曉。德州市的山東有研半導體材料有限公司“18英寸硅單晶及部件全國首次成功投產”上榜。

大規格高純硅單晶是先進半導體設備的核心部件材料，是納米級半導體制程良率的重要保障。經過4年的研發，國家重點研發計劃“大尺寸高純稀有金屬制品制備技術”結出豐碩成果，山東有研半導體材料有限公司成功攻克大規格高純硅單晶技術，并在德州經濟技術開發區實現成果轉化，填補了省內空白。

該成果立足于自主創新，形成了獨特的加熱裝置、單晶信號檢測方案、收尾控制方法、位錯缺陷判斷裝置、溫度閉環控制等手段，有效解決了大規格單晶生長過程熱應力、固液界面穩定性、氧含量、純度、典型缺陷及電阻率控制等問題，達到全球領先水平，形成20余系列產品，全覆蓋客戶端需求，長成單晶直徑達到18英寸，為全球最大硅單晶尺寸。（德州晚報全媒體記者 劉暢 通訊員 禹紅 趙洪志）