德州新聞網訊（記者劉瀟通訊員韓哲張小璐）截斷、滾磨、切片……無塵車間內，經過40余道工序，一件件刻蝕設備用硅材料部件成功下線。10月16日，山東有研刻蝕設備用硅材料項目通線量產，這是全省首個集成電路刻蝕設備用硅材料生產項目，填補了省內技術空白，在完善新一代信息技術產業鏈上邁出關鍵一步。

據悉，項目總投資3.57億元，主要生產大尺寸單晶硅部件加工品，全部達產后年可新增硅材料部件204噸。“刻蝕設備用硅材料部件主要包括硅環和硅電極，是晶圓制造刻蝕環節所需的核心耗材，主要用于生產8至12英寸等離子刻蝕機。”山東有研艾斯半導體材料有限公司總經理閆志瑞介紹。

作為國內最早開展硅片產業化的企業，此前，有研集團一直生產刻蝕設備用硅部件半成品，來到德州后，開始布局全產業鏈成品制作。從2021年底謀劃至今，經歷了漫長的科研攻關。“既要保證產品雜質少、微缺陷少，還要保證電阻率、金屬含量等諸多關鍵性能指標達標。”在閆志瑞看來，最難的是直拉硅單晶制備過程，需要保證工藝穩定性和質量參數一致性。

作為“有研系”在德州布局的重點延鏈補鏈項目之一，項目對于完善全省集成電路產業格局，填補省內空白意義重大，同時將徹底改變國內刻蝕設備用硅材料依賴進口的局面。“現在我們不僅制造加工刻蝕用單晶硅材料，還能生產相關成品部件，全產業鏈布局可以直面終端刻蝕機廠商，無形中提升了市場附加值，在細分領域賽道增加了競爭力。”閆志瑞介紹，“通線代表從小批量轉為大批量生產，目前第一期每月產能1500片，最大目標是每月1萬片。”

眼下，有研集團已投資近百億元，在德州布局7個產業鏈項目，天衢新區涵蓋6個項目，并集聚打造了占地1000畝的集成電路關鍵材料基地。“針對每個項目，天衢新區始終堅持靠前服務，成立項目推進專班和三級幫包服務專員隊伍，點對點、一對一解決項目建設中的‘疑難雜癥’，全方位協助辦理各項審批手續、完善各種配套設施建設，幫助項目以最快速度落地投產。”天衢新區黨工委委員、管委會副主任李濤說。