■歷時3年研發

■年產能120萬片

車間內，工作人員在點檢脫膠清洗后的硅片。記者劉振興孫耕攝

德州新聞網訊（記者李榕劉瀟通訊員韓哲）10月16日，山東有研艾斯12英寸集成電路用大硅片產業化項目在天衢新區實現通線，這是全省首條12英寸集成電路用大硅片生產線，標志著山東在完善集成電路產業鏈上邁出了關鍵一步。項目達產后將形成每年120萬片的生產規模。

10月16日，在山東有研艾斯半導體材料有限公司的無塵車間內，經過單晶拉制、滾磨截斷、線切割等數十道工序，一片片12英寸大硅片成功下線。

硅片即“晶圓”，是制造芯片的關鍵材料，相當于芯片的“地基”。12英寸硅片的面積是8英寸的2.25倍，可使用率是8英寸的2.5倍左右，隨著集成電路制程和工藝的發展，硅片趨向大尺寸化，12英寸硅片為當前及未來較長時間內的主流產品。

“我們是山東省內唯一一家生產12英寸大硅片的企業，目前可實現月產能10萬片。最終硅片出廠時最高與最低的平整度誤差不能超過0.1微米?！鄙綎|有研艾斯總經理閆志瑞介紹，硅片直徑越大，封裝出的芯片越多，單個芯片制造成本越低。但同時對材料和技術的要求越高，制造難度也越大。其中，單晶工藝是最核心的技術，決定了硅片尺寸、電阻率、純度等晶體缺陷。歷經3年技術研發，山東有研艾斯攻克了單晶微缺陷、硅片幾何尺寸、硅片表面沾污等關鍵技術指標，目前已在國內外多家知名集成電路制造企業開展產品驗證。

據悉，該項目是國內半導體材料龍頭企業中國有研參股布局的重點項目之一，一期投資25億元，達產后將徹底改變我國依賴進口的局面。

2018年以來，中國有研在德州投資近百億元，落地7個項目，已投產4個，德州成為有研在全國投資布局規模最大、業務領域最廣的科技成果轉化基地。天衢新區依托中國有研“集成電路關鍵材料國家工程研究中心”，打造中國集成電路關鍵材料（德州）基地，將成為北方最大的集成電路用大硅片生產基地。

企業投資持續“加碼”，中國有研科技集團有限公司黨委委員、副總經理周旗鋼信心十足，“投資項目進展順利、運行正常，事實證明當初選擇德州是正確的。”他表示，德州將有研作為鏈主企業重點培育，精心建設專業園區，形成了較為完善的半導體產業生態，有研也將充分發揮頭部效應，集聚更多上下游企業落戶德州。

近5年來，德州半導體產業產值年均增長近20%。山東有研入選省級“雁陣形”產業集群領軍企業庫，天衢新區電子信息（集成電路）入選山東省戰略性新興產業集群和特色產業集群，已成為全省半導體產業高質量發展的重要增長極，一批高端優質項目聚“鏈”成“群”，蓬勃發展。