天衢新區：拔節起勢 活力新城風正勁

③有研艾斯12英寸集成電路用大硅片產業化項目 龍頭帶動釋放“乘數效應”

德州新聞網訊 記者李榕通訊員韓哲葉龍庭

12月21日，在位于天衢新區的山東有研艾斯半導體材料有限公司無塵車間內，經過單晶拉制、滾磨截斷、線切割等數十道工序，一片片12英寸大硅片被生產出來。

硅片是制造芯片的關鍵材料，相當于芯片的“地基”。有研艾斯12英寸集成電路用大硅片產業化項目是省重大項目，占地150畝、總投資62億元。其中一期投資25億元，于今年10月16日通線量產。該項目全部達產后，將形成年產360萬片的生產規模，屆時山東省12英寸大硅片全國市場份額將達到20%，徹底改變我國12英寸大硅片依賴進口的局面。

“我們是山東省內唯一生產12英寸大硅片的企業，目前可實現月產能10萬片。”山東有研艾斯總經理閆志瑞指著一片硅片向記者介紹，12英寸大硅片的面積是8英寸硅片的2.25倍，可使用率是其2.5倍左右，單片產出的芯片數量和經濟效益明顯增加。

“有研艾斯12英寸拋光片主要應用于28nm及以下制程范圍制造邏輯電路、存儲器等高集成度的芯片，在技術方面處于全國領先地位。”閆志瑞稱，該項目產品主要供應臺積電、中芯國際、濟南比亞迪、青島芯恩等集成電路制造企業，同時產品遠銷美國、日本、韓國等多個國家，在國內外市場享有良好的知名度和影響力。

2018年，新區與中國有研科技集團首次“牽手”，在新區建成了省內首條8英寸硅片生產線，填補了德州集成電路產業鏈空白。此后，該集團在新區發展一路高歌猛進，陸續上馬了6大產業項目，有研艾斯12英寸集成電路用大硅片產業化項目便是其中的典型代表。“該項目于2019年12月正式簽約，是全國通過窗口指導的5個12英寸大硅片項目之一，2022年6月開工建設，在省、市領導及相關部門的支持幫助下，歷時16個月建成。”區投資促進部電子信息產業促進局局長葉龍庭說。

天衢新區依托中國有研科技集團的“集成電路關鍵材料國家工程研究中心”，先后引進了有研8英寸硅片、12英寸硅片、潔凈閥門、高純靶材、刻蝕機硅部件等6個項目，毗鄰布局、集聚規劃了占地800余畝的集成電路關鍵材料基地，總投資近百億元。項目全部建成后，年銷售收入可突破100億元，將滿足我國大規模集成電路產業對硅襯底基礎材料的迫切需求，使德州市乃至山東省在集成電路關鍵材料領域，硅材料處于國內第一方陣、靶材遙遙領先。

有研項目是天衢新區集成電路產業“龍頭”，更是彰顯產業蓬勃發展的生動縮影。近年來，天衢新區將集成電路產業作為“一號產業鏈”，成立工作專班，集聚要素資源、加大招引力度。目前，全區已集聚集成電路企業121家，其中規上企業36家，形成了以硅材料、高純濺射靶材為特色的半導體材料產業；以威訊公司為代表的封裝測試產業；以英望手機、恒芯電子以及液晶顯示模組、攝像頭模組配套的整機制造產業，2023年天衢新區電子信息產業成功入選山東省特色產業集群。天衢新區已成為德州集成電路重點企業的集聚區，年產值由2013年的1.27億元增至2023年的67.34億元，10年間增長52倍。