3 年“長了”4 英寸 全國第 5 個

德州躋身“能生產12英寸大硅片的城市”

德州新聞網訊（記者 王志強 李榕 通訊員 韓哲）3年“長了”4英寸，德州成為全國第5個能生產12英寸大硅片的城市。1月14日，參加市政協十五屆三次會議的市政協委員、山東有研半導體材料有限公司常務副總經理劉斌表示，有研項目落戶德州以來，8英寸硅片項目穩健經營，12英寸硅片和高純濺射靶材項目相繼投產，德州已成為國內生產集成電路關鍵材料的重要基地。他建議，德州可依托現有龍頭企業，補鏈強鏈，讓集成電路關鍵材料“山東造”走向全球。

有研在德州的快速發展，是德州新一代信息技術產業的一個縮影。2018年，有研集成電路用大尺寸硅材料規模化基地項目落戶德州，2019年，12英寸硅片產業化項目落戶德州。2020年10月，8英寸集成電路用硅片項目通線量產；3年后，12英寸集成電路用大硅片生產線通線。

位于天衢新區的山東有研艾斯半導體材料有限公司無塵車間內，單晶硅棒被切割成1毫米厚的硅片，經過倒角、研磨、拋光等40余道工序后，準備出廠。談起硅片，山東有研艾斯總經理閆志瑞滿臉自豪：“我們是山東省內唯一生產12英寸大硅片的企業，生產線一期總投資25億元，目前月產能為10萬片，技術水平國內領先。”

“從8英寸躍升到12英寸，不僅僅是個頭的變化。”閆志瑞直言，硅片直徑越大，對硅片生產的技術、工藝、設備、原材料等要求就越高。山東有研艾斯攻克了單晶微缺陷、硅片平整度、表面沾污等關鍵技術難題，目前12英寸大硅片已在國內外多家知名集成電路制造企業開展產品驗證。

硅片“長個”的背后，是德州良好的營商環境。德州把新一代信息技術產業作為“一號產業鏈”，市委主要負責同志任產業鏈鏈長，在產業鏈推進機制下，產業服務不斷優化，企業涉及的用水用電、日常經營、人才安置等問題都得到高效解決。 

好環境“拉流量”，有研項目接二連三落戶。2018年以來，中國有研科技集團在德州投資近百億元，落地7個大項目，涉及大尺寸硅片、高純濺射靶材、刻蝕設備用硅材料等領域，德州成為該企業在全國投資布局規模最大、業務領域最廣的科技成果轉化基地。

硅片“長個”的同時，也拉長了產業鏈。

近年來，德州新一代信息技術產業發展迅猛。一批高端優質項目先后落子布局，全市新一代信息技術產業現有規上企業123家，初步形成了硅材料、芯片設計、封裝測試、終端應用等較為完整的產業鏈，去年實現主營業務收入300億余元。