德州新聞網訊(記者李榕通訊員韓哲)6月12日,位于天衢新區的山東有研艾斯“12英寸集成電路用大硅片產業化項目”首臺設備進場,目前該項目廠房建設基本完成,已進入設備搬入及工藝調試階段。
“12英寸集成電路用大硅片產業化項目”是山東省重點項目,項目在北京建有研發中心及中試線,堅持產品研發、客戶認證等工作與量產項目建設同步進行,產品技術水平實現預期目標,已通過多家客戶認證,目前出貨量達到每月4萬片。該項目總投資62億元,其中一期項目投資25億元,建筑面積7.5萬平方米,已完成主體及配套設施建設,預計10月份將完成全部設備搬入,實現通線量產。一期項目投產后,12英寸硅片產能將達到每年120萬片,填補我國極大規模集成電路產業硅襯底基礎材料空白。