天衢新區(qū)：拔節(jié)起勢 活力新城風(fēng)正勁

③有研艾斯12英寸集成電路用大硅片產(chǎn)業(yè)化項目 龍頭帶動釋放“乘數(shù)效應(yīng)”

德州新聞網(wǎng)訊 記者李榕通訊員韓哲葉龍庭

12月21日，在位于天衢新區(qū)的山東有研艾斯半導(dǎo)體材料有限公司無塵車間內(nèi)，經(jīng)過單晶拉制、滾磨截斷、線切割等數(shù)十道工序，一片片12英寸大硅片被生產(chǎn)出來。

硅片是制造芯片的關(guān)鍵材料，相當(dāng)于芯片的“地基”。有研艾斯12英寸集成電路用大硅片產(chǎn)業(yè)化項目是省重大項目，占地150畝、總投資62億元。其中一期投資25億元，于今年10月16日通線量產(chǎn)。該項目全部達(dá)產(chǎn)后，將形成年產(chǎn)360萬片的生產(chǎn)規(guī)模，屆時山東省12英寸大硅片全國市場份額將達(dá)到20%，徹底改變我國12英寸大硅片依賴進(jìn)口的局面。

“我們是山東省內(nèi)唯一生產(chǎn)12英寸大硅片的企業(yè)，目前可實(shí)現(xiàn)月產(chǎn)能10萬片。”山東有研艾斯總經(jīng)理閆志瑞指著一片硅片向記者介紹，12英寸大硅片的面積是8英寸硅片的2.25倍，可使用率是其2.5倍左右，單片產(chǎn)出的芯片數(shù)量和經(jīng)濟(jì)效益明顯增加。

“有研艾斯12英寸拋光片主要應(yīng)用于28nm及以下制程范圍制造邏輯電路、存儲器等高集成度的芯片，在技術(shù)方面處于全國領(lǐng)先地位。”閆志瑞稱，該項目產(chǎn)品主要供應(yīng)臺積電、中芯國際、濟(jì)南比亞迪、青島芯恩等集成電路制造企業(yè)，同時產(chǎn)品遠(yuǎn)銷美國、日本、韓國等多個國家，在國內(nèi)外市場享有良好的知名度和影響力。

2018年，新區(qū)與中國有研科技集團(tuán)首次“牽手”，在新區(qū)建成了省內(nèi)首條8英寸硅片生產(chǎn)線，填補(bǔ)了德州集成電路產(chǎn)業(yè)鏈空白。此后，該集團(tuán)在新區(qū)發(fā)展一路高歌猛進(jìn)，陸續(xù)上馬了6大產(chǎn)業(yè)項目，有研艾斯12英寸集成電路用大硅片產(chǎn)業(yè)化項目便是其中的典型代表。“該項目于2019年12月正式簽約，是全國通過窗口指導(dǎo)的5個12英寸大硅片項目之一，2022年6月開工建設(shè)，在省、市領(lǐng)導(dǎo)及相關(guān)部門的支持幫助下，歷時16個月建成。”區(qū)投資促進(jìn)部電子信息產(chǎn)業(yè)促進(jìn)局局長葉龍庭說。

天衢新區(qū)依托中國有研科技集團(tuán)的“集成電路關(guān)鍵材料國家工程研究中心”，先后引進(jìn)了有研8英寸硅片、12英寸硅片、潔凈閥門、高純靶材、刻蝕機(jī)硅部件等6個項目，毗鄰布局、集聚規(guī)劃了占地800余畝的集成電路關(guān)鍵材料基地，總投資近百億元。項目全部建成后，年銷售收入可突破100億元，將滿足我國大規(guī)模集成電路產(chǎn)業(yè)對硅襯底基礎(chǔ)材料的迫切需求，使德州市乃至山東省在集成電路關(guān)鍵材料領(lǐng)域，硅材料處于國內(nèi)第一方陣、靶材遙遙領(lǐng)先。

有研項目是天衢新區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)“龍頭”，更是彰顯產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展的生動縮影。近年來，天衢新區(qū)將集成電路產(chǎn)業(yè)作為“一號產(chǎn)業(yè)鏈”，成立工作專班，集聚要素資源、加大招引力度。目前，全區(qū)已集聚集成電路企業(yè)121家，其中規(guī)上企業(yè)36家，形成了以硅材料、高純?yōu)R射靶材為特色的半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)；以威訊公司為代表的封裝測試產(chǎn)業(yè)；以英望手機(jī)、恒芯電子以及液晶顯示模組、攝像頭模組配套的整機(jī)制造產(chǎn)業(yè)，2023年天衢新區(qū)電子信息產(chǎn)業(yè)成功入選山東省特色產(chǎn)業(yè)集群。天衢新區(qū)已成為德州集成電路重點(diǎn)企業(yè)的集聚區(qū)，年產(chǎn)值由2013年的1.27億元增至2023年的67.34億元，10年間增長52倍。