德州新聞網訊 （記者 張志寧 通訊員 安楊 李芝）近日，省發改委受國家發改委委托對山東禹王實業有限公司承建的單晶硅外延基座研發及產業化項目進行了驗收。

　該項目總投資5554萬元，新增建筑面積11280平方米；購置設備326臺（套），建設了4條CVD生產線，年產單晶硅外延用和氮化鎵外延用碳化硅涂層石墨基座2.1萬套，2009年3月列入國家發改委電子信息產業振興和技術改造專項。

　該項目突破了石墨基座碳化硅涂層的化學氣相沉積技術，建成了目前國內直徑最大的碳化硅沉積爐，獲得國家發明專利1項，填補了我國微電子、光電子半導體外延材料生產所需特種陶瓷基座的空白，實現半導體生產中關鍵易耗部件的國產化。